上海新陽超純銅電鍍液產(chǎn)品成為中芯國際上海工廠的基準(zhǔn)材料（Baseline）
近日，從中芯國際傳來令人振奮的好消息——上海新陽超純銅電鍍液產(chǎn)品（VMS）繼2012年11月正式上線使用、2013年3月份成功切換到中央供液系統(tǒng)后，又于8月份成功成為中芯國際上海工廠的基準(zhǔn)材料（Baseline）。
此前，上海新陽超純銅電鍍液產(chǎn)品（VMS）已獲中芯國際2012年下半年相關(guān)化學(xué)品供應(yīng)商綜合評估排名第一。據(jù)中芯國際反饋，上海新陽超純銅電鍍液（VMS）驗(yàn)證進(jìn)展較理想，在銅填充效果、在線缺陷檢測、電性、良率、可靠性（RE）等關(guān)鍵性技術(shù)指標(biāo)考核中均與原基準(zhǔn)材料相當(dāng)。同時，上海新陽的超純銅添加劑產(chǎn)品于中芯國際的上線驗(yàn)證評估工作正在緊鑼密鼓地進(jìn)行。
十年磨一劍！上海新陽此次超純銅電鍍液產(chǎn)品（VMS）成功成為中芯國際上海工廠的基準(zhǔn)材料（Baseline），標(biāo)志著上海新陽經(jīng)過十年不懈努力開發(fā)出擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高科技含量的超純晶圓制程化學(xué)材料進(jìn)入了國際半導(dǎo)體市場，標(biāo)志著高端超純晶圓制程化學(xué)材料完全由國際幾大材料巨頭壟斷的格局被打破，標(biāo)志著中國本土半導(dǎo)體材料供應(yīng)商完全有能力進(jìn)入高端超純晶圓制程化學(xué)材料領(lǐng)域，并成為其主流供應(yīng)商！
