——上海新陽“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目通過驗收
2015年12月28日，上海新陽承擔的“65-45nm 芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目正式驗收會在公司舉行。本次驗收會由國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項”（簡稱“02專項”）實施管理辦公室召集組織。02專項總體專家組組長、中科院微電子研究所所長葉甜春，02專項實施實施管理辦公室、上海市科委高新處處長王曄，任務驗收專家組長鄭敏政，財務驗收專家組長秦亮，項目責任專家、復旦大學微電子學院副院長張衛(wèi)教授，用戶代表中芯國際吳正隆等專家領導和來自項目承擔單位的50余人參加了會議。公司董事長王福祥、副董事長孫江燕、總經(jīng)理方書農(nóng)等高管出席了會議。
與會專家按《國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”項目驗收暫行實施細則》的相關規(guī)定實施了項目驗收。任務驗收專家聽取了項目承擔單位上海新陽項目組長孫江燕及課題承擔單位復旦大學、上海交通大學、上海集成電路研發(fā)中心有限公司的項目完成情況匯報、現(xiàn)場測試組的測試與資料審查報告，審閱了相關驗收資料，并進行了現(xiàn)場考察。財務專家依據(jù)《民口科技重大專項資金管理暫行辦法》等財務相關規(guī)定，對照項目預算書和有關批復文件，查看了項目審計報告，抽查了財務資料，并進行了現(xiàn)場查驗。經(jīng)質(zhì)詢和討論，專家們一致同意項目通過驗收！
會議認為，本項目完成了任務合同書規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容，開發(fā)了面向65-45nm先進銅互連用超高純電鍍液（VMS）、TSV 電鍍液以及相關芯片銅互連超高純電鍍添加劑，開展了65-45nm 銅互連填充工藝研究、芯片銅互連電鍍技術(shù)與材料性能基礎研究、超高純電鍍液及添加劑的中試驗證評估，各項技術(shù)考核指標達到任務合同書考核要求。項目成果實現(xiàn)了批量生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)化銷售，通過了多條大產(chǎn)線的驗證考核。其中，中芯國際上海公司（8英寸產(chǎn)線）、中芯國際北京公司（12英寸65-55nm產(chǎn)線）、無錫SK海力士（12英寸32nm產(chǎn)線）將項目成果芯片銅互連電鍍液認定為基準材料（Baseline）！項目共申請發(fā)明專利61項，其中國內(nèi)發(fā)明專利56項，國際發(fā)明專利PCT申請5項，并制定了7項企業(yè)標準。項目建成了年產(chǎn)能達1260噸的高純電鍍液生產(chǎn)線和年產(chǎn)能達150噸的高純電鍍添加劑生產(chǎn)線，完成了任務合同書規(guī)定的相關考核指標！
上海新陽本項目開發(fā)的“超高純電鍍液及添加劑”難度極大，全球僅有少數(shù)幾家供應商能夠?qū)⑵渖虡I(yè)化。上海新陽在該領域的早期探索性研究可以追溯到2003年，經(jīng)過新陽兩代技術(shù)人才的接力奮斗，經(jīng)過漫長的周而復始的研究、失敗、改進和再研究……在02專項、中芯國際等各方各面的支持下，鍥而不舍的新陽人終于在2013年迎來了成功的曙光，并在中芯國際和無錫SK海力士取代國外供應商的電鍍液！
世上無難事，只要肯登攀！今天，我們以較優(yōu)異的成績完成了“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目。明天，我們將全力以赴完成下一個研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化任務！不辜負02專項、黨和國家對我們的厚望！
