2011年3月3日，國家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》“十一五”成果發(fā)布暨采購簽約儀式在北京飯店隆重舉行。全國政協(xié)副主席、國家科技部部長(zhǎng)萬鋼出席會(huì)議并作重要講話。會(huì)議由專項(xiàng)第一行政責(zé)任人上海市副市長(zhǎng)沈曉明主持，專項(xiàng)第一行政責(zé)任人北京市副市長(zhǎng)茍仲文介紹專項(xiàng)“十一五”主要成果及“十二五”組織實(shí)施措施。出席會(huì)議的還有北京市委常委趙鳳桐、中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)江上舟、02專項(xiàng)總體專家組組長(zhǎng)葉甜春、工信部電子信息司副司長(zhǎng)丁文武及科技部、工信部、財(cái)政部、海關(guān)總署、稅務(wù)總局等部局領(lǐng)導(dǎo)。公司董事長(zhǎng)王福祥、副董事長(zhǎng)兼總工程師孫江燕、第一副總經(jīng)理呂海波應(yīng)邀參加了會(huì)議。
會(huì)上中芯國際與大唐微電子等集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)、與中微半導(dǎo)體等集成電路裝備、材料企業(yè)簽訂采購合作協(xié)議；長(zhǎng)電科技與上海新陽半導(dǎo)體等集成電路裝備企業(yè)簽訂采購合作協(xié)議；通富微電公司與銅陵三佳科技等企業(yè)簽署合作協(xié)議。上海新陽獲得了長(zhǎng)電科技與通富微電公司的“高速自動(dòng)電鍍線”設(shè)備采購合作協(xié)議，與中芯國際就“銅互連電鍍液”簽署了采購合作意向書。
《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》國家科技重大專項(xiàng)是我國《國家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》16個(gè)科技重大專項(xiàng)中的02專項(xiàng)，該專項(xiàng)旨在開發(fā)極大規(guī)模集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。 據(jù)統(tǒng)計(jì)，“十一五”期間，國家為該專項(xiàng)投入資金超過80億元，已啟動(dòng)58項(xiàng)，其中裝備整機(jī)15項(xiàng)，成套工藝11項(xiàng)，關(guān)鍵技術(shù)與零部件12項(xiàng)，關(guān)鍵材料13項(xiàng)，前瞻性研究7項(xiàng)。全國有18個(gè)省、29個(gè)市的133家單位參與。目前，“02專項(xiàng)”累計(jì)申請(qǐng)專利4200多件，獲得一系列技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化突破；在制造環(huán)節(jié)，有35種裝備、材料陸續(xù)進(jìn)入或已經(jīng)通過大生產(chǎn)線驗(yàn)證；而在封裝環(huán)節(jié)，23種裝備和8種材料已通過大生產(chǎn)驗(yàn)證。此次會(huì)議的召開標(biāo)志著02科技重大專項(xiàng)取得了重要的階段性成果，項(xiàng)目承擔(dān)單位所開發(fā)的設(shè)備與材料實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，這對(duì)于我國實(shí)施極大規(guī)模集成電路制造關(guān)鍵設(shè)備、材料國產(chǎn)化及各個(gè)設(shè)備材料供應(yīng)商來講都具有重要的里程碑式的意義。
上海新陽的“高速自動(dòng)電鍍線”從2009年1月份立項(xiàng)，歷時(shí)兩年，在重大專項(xiàng)辦和政府相關(guān)部門的指導(dǎo)和支持下已經(jīng)順利完成，得到項(xiàng)目組和長(zhǎng)電科技、通富微電的一致認(rèn)可，目前已經(jīng)在使用單位投入大規(guī)模生產(chǎn)。在3月2日中國半導(dǎo)體市場(chǎng)年會(huì)上，該項(xiàng)目被中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)、中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)、中國電子報(bào)社評(píng)為“第五屆(2010年度)中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”。此次國家牽頭組織的“成果發(fā)布暨采購簽約儀式”對(duì)新陽具有里程碑式的意義，專項(xiàng)的實(shí)施提升了上海新陽科技攻關(guān)水平、綜合管理能力，增強(qiáng)了“新陽人”的自豪感，極大地推動(dòng)了“新陽”品牌建設(shè)，擴(kuò)大了公司在國內(nèi)國外市場(chǎng)的影響力和知名度。
萬鋼部長(zhǎng)指出：“集成電路產(chǎn)業(yè)是戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性支柱產(chǎn)業(yè)，是掌握著國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和全球信息化競(jìng)爭(zhēng)的主導(dǎo)型的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)，是當(dāng)今信息時(shí)代國家綜合實(shí)力和國家競(jìng)爭(zhēng)力的重要標(biāo)志。培育和發(fā)展具有綜合實(shí)力和核心競(jìng)爭(zhēng)力的集成電路制造業(yè)是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵，也是實(shí)施02科技重大專項(xiàng)最重要的使命。近年來，我國集成電路每年的進(jìn)口額都超過1200億美元，比石油進(jìn)口額還要多，是我國最大宗的進(jìn)口物資?！笨梢姡覈呻娐樊a(chǎn)業(yè)的整體技術(shù)水平和綜合實(shí)力與國外先進(jìn)國家與地區(qū)相比還有很大差距，我們還有很大的發(fā)展空間，尤其是在高端裝備制造、工藝和材料方面的發(fā)展空間還很大。
上海新陽作為我國集成電路設(shè)備、材料領(lǐng)域的“國家隊(duì)”成員，將努力專注于集成電路產(chǎn)業(yè)高端材料、設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，開拓更廣闊的市場(chǎng)，滿足客戶更多需求，新陽的發(fā)展前途不可限量，她正如一輪紅日冉冉升起，寄托著希望，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展走向遠(yuǎn)方。
